Features
- Einlagern verschiedener Transportbehälter (FOUP, FOSB)
- erfüllt Reinraumklasse ISO-Klasse 5
- IO-Ports:
- Manuelle I/O Ports (Drehschleusen)
- Automatische I/O Ports (OHT Anbindung)
- Anbindung an Equipment möglich
- Dockingstation für Transportwagen
- SEMI-E88 MCS-Schnittstelle
- SEMI-E84 Übergabe-Schnittstelle
Technische Daten
- Mittlere Taktzeit: 20s - 25s
- Abmessungen:
- Höhe: 6,1 m
- Breite: 2,75 m
- Länge: Max. 47 m
- SIEMENS S7 SPS
Datenblatt
Software

- Remotezugang: Web-Frontend inkl. Benutzerverwaltung
- Datentracking: Materialtracking, Anlagenzählervisualisierung
- SECS Schnittstelle: SEMI E88-konforme Schnittstelle, auf Kundenwunsch erweiterbar
- Schnittstellen:
- Webfrontend über http Port 80
- SECS/GEM Ethernet Schnittstelle
- Ethernet-Schnittstelle zur Anlagen-SPS
- Inventurfunktion
- Optionale 3d-Lagerbestandsvisualisierung

Lagerverwaltungssystem
Schiller SWarePro